专利详情

专利名称	多样品霍尔效应测试设备
申请号	CN200610027355.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1885051	公开（授权）日	2006.12.27
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	杨晓阳;陈新禹;林杏潮;陆荣;邵秀华;张莉萍
主分类号	G01R31/26(2006.01)	IPC主分类号	G01R31/26(2006.01);G01R31/00(2006.01);G01R33/12(2006.01)
专利有效期	多样品霍尔效应测试设备至多样品霍尔效应测试设备	法律状态	授权
说明书摘要	一种基于多样品霍尔效应测试设备，系为多片样片霍尔效应测试设备，主要应用于批量半导体材料电学输运性能的测试。该设备主要由一个主系统和一个从系统及一只PC 机组成。主系统主要负责测试信号的产生和接收，测试过程中被测样品的自动切换；从系统主要负责提供测试平台和测试磁场。设备电学参数的测量，并将测试结果显示在测试面板上。本设备的最大的优点是可以实现多片样品的连续测量，以及对于磁场的精确控制，从而提高了测试效率和测试精度。另外可以实现半导体材料测试电极的I－V曲线测试，变磁场霍尔效应测试，以及电子数据的存储，从而自动完成批量被测样品的测试及测试结果记录的整个过程。