专利详情

专利名称	一种投影光学系统
申请号	CN201210360715.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102981249A	公开（授权）日	2013.03.20
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	冉英华;邢廷文;张海波;吕保斌;陈红丽;白瑜
主分类号	G02B13/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/18(2006.01)I;G02B13/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种投影光学系统至一种投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一透镜组接收输入光束并输出第一发散光束；第二透镜组接收第一发散光束并输出第二发散光束；第三透镜组接收第二发散光束并输出第一会聚光束；第四透镜组接收第一会聚光束并输出第三发散光束；第五透镜组接收第三发散光束并输出第二会聚光束，将第二会聚光束会聚到像面。本发明在高分辨率和大数值孔径的条件下，有效地减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距。