专利详情

专利名称	一种用于红外焦平面探测器背减薄的限位模具及制备方法
申请号	CN201210405755.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102969394A	公开（授权）日	2013.03.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	钟艳红;廖清君;曹菊英;王建新;吴廷琪;俞君;吴云;杨勇斌;何高胤
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I
专利有效期	一种用于红外焦平面探测器背减薄的限位模具及制备方法至一种用于红外焦平面探测器背减薄的限位模具及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于红外焦平面探测器背减薄的限位模具及制备方法。该限位模具特殊的限位设计能精确控制探测器芯片厚度的一致性和均匀性；模具主材为硬度非常大的两块白宝石片，探测器芯片背减薄磨抛条件对其几乎不起作用；根据探测器的特征尺寸将两块白宝石片利用激光进行中心开矩形孔并用Disco切割沿矩形孔对角线将其一分为二；再用特殊的DW3低温胶将两层粘结固化而成。本发明设计的限位模具原料简单易得；具备精准的厚度控制性；工艺过程可控，操作流程少；模具可重复利用，具有广泛的适用性。