专利详情

专利名称	直接倍频实现波长160～170nm全固态深紫外激光的装置
申请号	CN201210308980.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102957083A	公开（授权）日	2013.03.06
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	许祖彦;王保山;宗楠;薄勇;彭钦军
主分类号	H01S3/109(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/109(2006.01)I;H01S3/094(2006.01)I
专利有效期	直接倍频实现波长160～170nm全固态深紫外激光的装置至直接倍频实现波长160～170nm全固态深紫外激光的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种直接倍频实现波长160～170nm全固态深紫外激光的装置，其泵浦源为320～340nm波长全固态紫外激光泵浦源；薄片状深紫外倍频晶体光胶于第一和第二匹配材料直角棱柱斜边面上；第一匹配材料钝角切割角度满足320～340nm紫外光垂直入射到第一匹配材料后再入射到直接倍频晶体中，满足倍频晶体位相匹配角度；第二匹配材料钝角切割角度满足160～170nm深紫外光垂直于第二匹配材料直角面出射；紫外光从入射窗口进入密封罐体，由第一匹配材料直角边垂直入射，由倍频晶体直接倍频，产生的深紫外光与剩余紫外光经第二匹配材料后分开，160～170nm深紫外光从出射窗口输出；光路简单、系统可靠、效率高、结构紧凑。