专利详情

专利名称	一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法
申请号	CN201210407852.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102953041A	公开（授权）日	2013.03.06
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;郭春;孔明东;柳存定
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法至一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法，真空镀膜过程中，膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输，并在球形光学元件表面上形成厚度非均匀分布的薄膜。分别建立了能真实反映未使用挡板和使用挡板修正时真空镀膜机行星系统中沉积到球形光学元件上的薄膜厚度分布模型。根据未使用挡板时的薄膜厚度分布模型确定真空镀膜过程中薄膜材料的蒸发或溅射特性，在此基础上运用存在挡板修正时的薄膜厚度分布模型理论模拟真空镀膜机行星系统中球形光学元件上的薄膜厚度分布。通过计算机优化挡板设计直至真空镀膜机行星系统中挡板修正后球形光学元件上薄膜厚度分布达到设计需求，获得最优的挡板设计。与传统的挡板设计方法相比较，本发明使用计算机优化挡板设计能实现球形光学元件上薄膜厚度分布的精确控制。