专利详情

专利名称	基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法
申请号	CN200610027341.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1865923	公开（授权）日	2006.11.22
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李铁;王翊;周宏;王跃林;林心如;奚庆中
主分类号	G01N21/25(2006.01)	IPC主分类号	G01N21/25(2006.01);G01J3/18(2006.01)
专利有效期	基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法至基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆位于介质薄膜上面，引线柱位于支撑框架上，热堆阵列芯片上的通光孔与盖板上的通光孔相对应；光栅芯片上的闪耀光栅是采用特定晶向腐蚀出来的，将特定波长的红外光的最大功率正好反射在热堆的热端薄膜表面。依所述结构采用MEMS工艺制作三块芯片，再采用点胶机点胶键合，或利用粘合剂光刻对准键合，或直接进行Si－Si、Si－玻璃对准键合。具有体积微小、结构稳定、重复性好、成本低廉等优点。