专利详情

专利名称	长工作距干涉显微镜系统
申请号	CN200610082957.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1862219	公开（授权）日	2006.11.15
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	段俐;康琦;胡良;阿燕;于泳
主分类号	G01B9/04(2006.01)	IPC主分类号	G01B9/04(2006.01);G02B21/00(2006.01)
专利有效期	长工作距干涉显微镜系统至长工作距干涉显微镜系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种长工作距干涉显微镜系统，包括：起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜，光源经过所述起偏器形成线偏振光，并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜，将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光，该两束光投射到被测量样品上，从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回，由所述渥拉斯顿棱镜重新复合共线，并经过一四分之一波片形成椭圆偏振光，再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光。本发明对机械振动、空气扰动、以及温度变化等外界环境不敏感，其垂直测量分辨率达到50个纳米量级，具有50mm以上的工作距离。