专利详情

专利名称	微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法
申请号	CN200510016752.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1854696	公开（授权）日	2006.11.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	吴一辉;贾宏光;周连群;张平;鞠挥;宣明
主分类号	G01J3/02(2006.01)	IPC主分类号	G01J3/02(2006.01);G01N21/62(2006.01)
专利有效期	微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法至微小型光纤光谱仪的结构及其狭缝的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微小型光纤光谱仪的结构及其制作方法。包括安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二螺纹孔11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、准直反射镜16、光栅17、狭缝23，对狭缝坯体氧化、涂胶、光刻形成带凹坑图形，腐蚀、去胶然后涂胶、光刻形成狭缝孔图形，再ICP刻蚀或湿法腐蚀，形成不通透沟槽的狭缝坯体并去胶，ICP刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝，结构紧凑、体积小的支架，集成化的光阑，使得支架与光学系统形成一体，光学元件准确快速定位和牢固固定，从而实现了空间结构简单、集成化的微小型光纤光谱仪。