专利详情

专利名称	基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪
申请号	CN200610040630.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1851447	公开（授权）日	2006.10.25
申请（专利权）人	中国科学院安徽光学精密机械研究所	发明（设计）人	刘文清;张玉钧;司福祺;崔益本;阚瑞峰;蔡毅敏
主分类号	G01N21/39(2006.01)	IPC主分类号	G01N21/39(2006.01)
专利有效期	基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪至基于激光光谱法的高灵敏SF6大范围监测仪	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种基于激光光谱法的高灵敏SF6 大范围监测仪，包括有机箱，机箱上安装有电源插座，开关，机箱内安装有数据处理模块，其特征在于机箱底面上安装有二氧化碳激光器及其电源、冷凝水系统，二氧化碳激光器的出光口前安装有反射镜，在二氧化碳激光器发出的激光经该反射镜反射的光路中，安装有一个电机驱动的斩波器，经反射镜反射的激光束经过斩波器上的缺口射出者，再经过机箱上的出光口，到达安装在机箱外的激光原始光强探测器接收；经反射镜反射的激光束经转盘上的金属膜反射后的光路中，安装有气体吸收后的光强探测器。真正做到了高精度(1ppm变化)、定量化、长寿命、大面积的SF6连续实时在线监测。