专利详情

专利名称	用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置
申请号	CN200610083452.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1851037	公开（授权）日	2006.10.25
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	刘慧;赵宏武;陈东敏
主分类号	C23C14/24(2006.01)	IPC主分类号	C23C14/24(2006.01)
专利有效期	用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置至用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于真空系统的可移动、万向蒸发源装置，包括可插拔电极、接收与支撑部件、蒸发源部分以及传送杆接收部件；所述可插拔电极电绝缘固定于接收与支撑部件上并与蒸发源电连接，所述接收与支撑部件上设有用于连接蒸发源接收台的支撑口，传送杆接收部件上设有用于连接传送杆的连接装置，蒸发源部分两端分别与接收与支撑部件及传送杆接收部件相固定连接。由于本发明装置由可插拔电极、接收与支撑部件、蒸发源装置、及传送杆接收部件组成，传送杆接收部件上设有用于连接传送杆的螺纹孔，因此可通过传送杆将本发明装置传送到薄膜生长与制备室而不破坏真空条件。