专利详情

专利名称	高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法
申请号	CN200610026521.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1844937	公开（授权）日	2006.10.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	吴亚明;赵本刚;高翔;刘玉菲;徐静
主分类号	G01R19/00(2006.01)	IPC主分类号	G01R19/00(2006.01)
专利有效期	高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法至高灵敏度的微电子机械系统的光电检流计、制作及其检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro－ Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS 扭转微镜。无需放大电路，将待测的直流或低频微弱电流输入驱动线圈，置于外加永磁铁产生的强磁场中，驱动线圈将受到洛伦兹力产生的力矩作用，驱动微镜偏离初始位置，利用双光纤准直器对角度非常敏感的特性进行检测，根据光信号的损耗量与扭转角度的关系，经过光电转换与信号处理后测量出电流值。这种MEMS光电检流计，输入端无需放大电路，可达到安培至皮安量级电流的直接准确测量，克服了微弱电流信号放大过程中引起的噪声干扰和漂移等技术问题，同时可以实现输入端与输出端的光电隔离，是一种体积小、结构简单、成本低、可以批量生产和抗震性好的高灵敏度光电检流计。