专利详情

专利名称	一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
申请号	CN200610026522.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1844938	公开（授权）日	2006.10.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	吴亚明;赵本刚;徐静;刘玉菲;高翔;李四华
主分类号	G01R19/02(2006.01)	IPC主分类号	G01R19/02(2006.01)
专利有效期	一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法至一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和 MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到 MEMS扭转微镜的线圈中，在MEMS扭转微镜的背面制作反射镜面，镜面将在电磁力矩的作用下绕轴摆动，采用对角度非常敏感的光束耦合方式能够精确测量出镜面摆动角度，就可以获知电流值。这种光学电流传感器将MEMS技术运用到高压大电流检测中，以感应电流驱动，在高压端无需驱动电源，实现了光电隔离，具有体积小、成本低、可批量生产、抗干扰等优点，具有较高的测试精度和灵敏度，是一种具有应用前景的光学电流传感器。