专利详情

专利名称	实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法
申请号	CN200610023827.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1832050	公开（授权）日	2006.09.13
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	宋志棠;吴良才;刘波;封松林
主分类号	G11C29/00(2006.01)	IPC主分类号	G11C29/00(2006.01);G01R31/00(2006.01)
专利有效期	实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法至实现探针与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种电学测量过程中实现探针针尖与相变存储器器件单元纳米电极可靠接触的方法，其特征在于将测试探针和待测样品串联到一外围直流电路中，缓慢调节探针升降旋钮，先粗调后细调，当探针针尖和样品表面接触时，外围直流电路导通，串接在直流回路中的报警器报警，表明针尖与样品已经接触上，可以进行样品的电学性能测量；具有有效地保护样品，避免纳米电极和相变材料被针尖划伤甚至扎穿，造成上、下电极短路；可以保护针尖本身，避免压力过大使针尖翘曲、变形，甚至断裂；可以实现低温、高温或其它环境下探针与电极的可靠接触。