专利详情

专利名称	一种大行程高速双重驱动纳米定位系统
申请号	CN201210112686.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102629122A	公开（授权）日	2012.08.08
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘旗;马平;胡松;李兰兰;盛壮;朱江平
主分类号	G05B19/414(2006.01)I	IPC主分类号	G05B19/414(2006.01)I
专利有效期	一种大行程高速双重驱动纳米定位系统至一种大行程高速双重驱动纳米定位系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种大行程高速双重驱动纳米定位系统，该纳米定位系统包括运动轨迹指令系统(101)、主控计算机(102)、PMAC运动控制板卡(103)、伺服运动控制系统(104)、定位平台和测量控制系统(107)，其中，定位平台包括宏动台(105)和微动台(106)，该纳米定位系统考虑了三轴测量以及三轴控制，可对X、Y1、Y2进行精密控制，定位平台采用“长行程的直线电机+短行程的平面电机”的运动方式，运动控制方式选取主从控制，短行程平面电机为主控制对象，用激光干涉仪测量反馈，完成小范围高精度运动，长行程直线电机作为短程电机的从控制系统，用光栅尺测量反馈，完成长行程高速粗运动。通过对平面电机运动解耦以及引入PMAC运动控制板卡极大提高了系统的响应速度和实时性能。