专利详情

专利名称	一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置
申请号	CN201210115626.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102636130A	公开（授权）日	2012.08.15
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	黄林海;王海英;周虹
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置至一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大动态范围测量非球面光学元件表面轮廓装置。该装置利用一块子孔径分割光阑来形成特定的入射光束，将该入射光束投影到被检测的非球面光学元件表面上并接收、采集其反射光束所形成的图像，利用像差模式算法复原出被检测非球面光学元件表面轮廓信息或者面形误差信息。在实际检测中，只需要借助普通的辅助会聚镜头，即能对非球面光学元件表面轮廓给出定量的检测数据。相对现有的非球面检验方法，具有较好的环境适应性和很强的通用性，能够适应各种不同批次、不同参数光学非球面的检测要求。