专利详情

专利名称	运动部件位置的真空信号引出装置
申请号	CN200920288412.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201569447U	公开（授权）日	2010.09.01
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	佟雷;汪良;孙影;林秀青;佟辉
主分类号	G01D5/34(2006.01)I	IPC主分类号	G01D5/34(2006.01)I
专利有效期	运动部件位置的真空信号引出装置至运动部件位置的真空信号引出装置	法律状态	专利权人的姓名或者名称、地址的变更
说明书摘要	本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆靠近顶端的位置上设有通光狭缝，所述光电开关安装在法兰上、位于直杆设有通光狭缝的两侧；在直杆位于真空室内部分的外部套设有与法兰相连的竖直套管，该竖直套管与直杆之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。本实用新型通过刚性传递将机械触点信号从真空环境中引出，并转换成精确的光电信号输出，运动定位精确，信号响应及时。