金属掩模套版
- 申请号：CN201220063793.8
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院近代物理研究所
- 公开(公开)号：CN202671643U
- 公开(公开)日：2013.01.16
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 金属掩模套版 | ||
| 申请号 | CN201220063793.8 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN202671643U | 公开（授权）日 | 2013.01.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明（设计）人 | 缑洁;张崇宏;张丽卿 |
| 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
| 专利有效期 | 金属掩模套版 至金属掩模套版 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种适用于新材料电子器件制作模板及模板的使用方法。一种金属掩模套版，包括掩模后挡板，还包括有用于测试各向异性材料的霍尔效应和电阻率的第一欧姆接触电极图形掩模板、用于测试各向同性材料的霍尔效应和电阻率的第二欧姆接触电极板、用于分析材料的电容电压特性的绝缘层图形掩模板和用于制作肖特基电极的肖特基接触电极图形掩模板。本实用新型的优点是：金属掩模套版结构简单，操作方便快捷，一次就可以在小尺寸样品上生长一批电极样品器件，同时能够方便高效的获得需要的器件尤其适合于材料辐照改性的研究。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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过户资料
平台保障
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