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一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置

  • 申请号:CN200510105687.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
  • 公开(公开)号:CN1743474
  • 公开(公开)日:2006.03.08
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置
申请号 CN200510105687.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1743474 公开(授权)日 2006.03.08
申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 杜小龙;曾兆权;袁洪涛;薛其坤;贾金锋;李含冬;王喜娜
主分类号 C22B9/02(2006.01) IPC主分类号 C22B9/02(2006.01);C22B26/00(2006.01)
专利有效期 一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置 至一种用于提炼高纯材料的高真空原位精炼装置 法律状态 授权
说明书摘要 本发明公开了一种用于提炼高纯以及超高纯材 料的高真空原位精炼装置,该高真空精炼装置由提炼腔、真空 系统、扩散炉、坩锅、进料取料系统、保护气体装置以及工业 智能温度控制器通过真空管件、气路以及导线等将各部分连接 构成精炼装置整体。该装置具有分阶段分别有效去除高饱和蒸 汽压杂质以及低饱和蒸汽压杂质的突出优点,同时提炼过程始 终保持高真空状态,并且整个生产过程与大气隔离,极大地减 少了大气对原料的污染,该装置具有产品质量高、生产能力大、 性能稳定、可靠,适合于高纯以及超高纯材料的生产,特别是 高活性高纯材料的制备。

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