专利详情

专利名称	具有多腔结构的窄带滤光片列阵
申请号	CN200510029389.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1737613	公开（授权）日	2006.02.22
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王少伟;陆卫;陈效双;李宁;张波;李志锋;陈平平
主分类号	G02B5/20(2006.01)	IPC主分类号	G02B5/20(2006.01);G02B1/10(2006.01)
专利有效期	具有多腔结构的窄带滤光片列阵至具有多腔结构的窄带滤光片列阵	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种具有多腔结构的窄带滤光片列阵，它是利用多个F－P结构膜系来形成多腔，通过组合镀膜或组合刻蚀方法来形成谐振腔层列阵，以达到控制每个微型窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一块基片上集成的目的。这种结构适用于各个波段多腔窄带滤光片列阵。这种结构的优点是滤光片的带通矩形度好，易于多通带集成，可以更多地获取各光谱通带内的信号、同时更好地抑制掉通带外的噪声，大大提高信噪比，能够满足工程化和实用化需要。