专利详情

专利名称	适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统
申请号	CN200410058034.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1734729	公开（授权）日	2006.02.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	魏珂;和致经;刘新宇;刘健;吴德馨
主分类号	H01L21/3205(2006.01)	IPC主分类号	H01L21/3205(2006.01);B32B15/01(2006.01)
专利有效期	适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统至适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于 AlGaN/GaN HEMT器件Al/Ti/Al/Pt/Au新型欧姆接触合金系统。提出一种新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Pt/Au。该合金欧姆接触系统在660－760度范围内，合金时间在20－60秒范围内获得理想的一致的欧姆接触。并得到比较理想的合金形貌，该发明的合金温度、合金时间有较大的选择范围，降低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。这些优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。