专利详情

专利名称	适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统
申请号	CN200410058035.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1734730	公开（授权）日	2006.02.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	魏珂;和致经;刘新宇;刘健;吴德馨
主分类号	H01L21/3205(2006.01)	IPC主分类号	H01L21/3205(2006.01);B32B15/01(2006.01)
专利有效期	适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统至适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于 AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺宽容度，可以在较低680℃－760℃的情况，获得满意的欧姆接触特性。该技术的合金温度、合金时间有很大的选择范围，降低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。获得比较理想的合金形貌。这些优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。