专利详情

专利名称	一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法
申请号	CN201010022997.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101758457A	公开（授权）日	2010.06.30
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	汪海波;刘卫丽;宋志棠
主分类号	B24B57/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B57/00(2006.01)I;C02F9/02(2006.01)I;C02F1/44(2006.01)N;C02F1/42(2006.01)N
专利有效期	一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法至一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明公开了一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，包括下列步骤：将已使用过的抛光液经过滤膜过滤后收集滤液；将滤液过阳离子交换树脂后，收集流出液；将获得的流出液再过阴离子交换树脂，收集流出液；将获得的流出液作为原料用于配制新的化学机械抛光液，或者将获得的流出液浓缩后作为原料用于配制新的化学机械抛光液。本发明的方法磨料回收率高，环保且节省资源。