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一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法

  • 申请号:CN200510027903.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN1719257
  • 公开(公开)日:2006.01.11
  • 法律状态:实质审查的生效
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专利详情

专利名称 一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法
申请号 CN200510027903.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1719257 公开(授权)日 2006.01.11
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 金庆辉;许宝建;赵建龙;杨梦苏;李贻昆;何志明
主分类号 G01N35/00(2006.01) IPC主分类号 G01N35/00(2006.01);G01N37/00(2006.01);C12Q1/00(2006.01)
专利有效期 一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法 至一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备 装置,所述的装置是由硅基微喷头阵列芯片、PDMS弹性薄膜 和弹性环、SU-8基的挤压头阵列、钕铁硼磁致驱动器和样品 载波片构成的;其中PDMS弹性薄膜与硅基微喷头阵列芯片采 用紫外胶实现粘结和微通道密封,SU-8基的挤压头阵列与微 喷口对准并将整个钕铁硼磁致驱动器通过PDMS弹性环固定 在PDMS薄膜表面,载波片承载微喷口挤出的微液滴点阵列。 利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基片上制 作含有进样池、微通道、微贮液池和微喷口等微结构,根据磁 致驱动原理制作驱动器,并用于驱动PDMS弹性薄膜,采用 PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而制成。具有操 作简单,易于普及特点。

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