专利详情

专利名称	一种微纳米热检测传感组件
申请号	CN200910198452.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102053171A	公开（授权）日	2011.05.11
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	曾华荣;殷庆瑞;惠森兴;赵坤宇;李国荣
主分类号	G01Q60/24(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/24(2010.01)I;G01Q60/38(2010.01)I;G01N25/00(2006.01)I;G01N25/20(2006.01)I
专利有效期	一种微纳米热检测传感组件至一种微纳米热检测传感组件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明揭示了一种微纳米热检测传感组件，包括：加热并探测被测样品温度的热探针；在热探针检测时探测环境温度的参考探针；以磁力吸住热探针的底板，对热探针定位的磁性底座；隔离体，设置于磁性底座下方；定位器，采用压板结构，将热探针的引线压住，对热探针起辅助定位作用；输出连接体电路板，包括印刷线路板和连接器，印刷电路板与参考探针和热探针的输出端相连，连接器用于与外部检测桥路相连；测试支架，用于固定输出连接体电路板、磁性底座、隔离体和定位器。本发明具有检测灵敏度高、抗外部环境干扰强等特点，并可与商用原子力显微镜(AFM)完全兼容，原位获得被测样品的形貌像与热学像。其热成像分辨率达60纳米，优于同类国外产品。