专利详情

专利名称	高真空深冷水汽捕集器
申请号	CN200410047936.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1707101	公开（授权）日	2005.12.14
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	公茂琼;吴剑锋;胡勤国
主分类号	F04B37/08	IPC主分类号	F04B37/08
专利有效期	高真空深冷水汽捕集器至高真空深冷水汽捕集器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及的高真空深冷水汽捕集器，包括高真空水汽捕集单元、低真空水汽捕集单元、压缩机单元、低真空室、真空连接管道以及制冷剂输运管道组成。布置方式为：高真空捕集单元放置在高真空系统中的高真空泵(B)入口与高真空室(A)连接处的高真空环境中，或放置在高真空系统中的高真空室(A)内；低真空捕集单元放置在低真空室中，低真空室通过真空系统连接管道同时与高真空系统中的高真空泵(B)出口及前级真空泵(C)入口连接；高真空捕集单元工作温区在110 －150K。本发明提出的深冷水汽捕集器对水蒸汽具有选择性捕集，可以显著提高抽速和极限真空度，制作成本低、可靠性高和无需专门维护等特点。