专利详情

专利名称	室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法
申请号	CN200510026743.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1699939	公开（授权）日	2005.11.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	冯飞;王跃林;杨广立;熊斌;焦继伟
主分类号	G01J5/20	IPC主分类号	G01J5/20;H01L31/09
专利有效期	室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法至室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种室温F－P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构成F－P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F－P腔的长度，通过制作牺牲层确定红外谐振腔的长度，在牺牲层上淀积氮化硅、铝或金薄膜，光刻并刻蚀出微镜图案，随后去掉牺牲层材料，释放可动微镜，最后在真空中作硅－玻璃键合，形成F－ P腔。本发明的优点在于：采用体硅与表面牺牲层技术相结合的工艺，可方便的制作出符合要求的红外谐振腔和F－P腔，提高了器件的红外探测性能，同时在工艺过程即实现了红外探测器阵列的真空封装，不需要专门的真空封装，简化了工艺，保证了器件的性能。