专利详情

专利名称	一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法
申请号	CN200510026156.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1699960	公开（授权）日	2005.11.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	鲍海飞;李昕欣
主分类号	G01N13/16	IPC主分类号	G01N13/16;G01B21/32;G01N3/00
专利有效期	一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法至一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具体步骤是(1)首先将已知弹性系数 k_o的带有探针的悬臂梁安装在原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其总形变量δ_tot；(2)将未知悬臂梁或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δ _t1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δ _t2；(4)再采用δ _test＝(δ _t1+δ _t2)/2计算出平均形变量；(5)再利用公式 K=K_o[δ_{testcos(θ)/δ_tot－ δ_test]进行计算，得到弹性系数；式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角， 0.3k_o＜k＜ 3k_o。本方法可扩展测试其他微结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。}