专利详情

专利名称	气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置
申请号	CN200510011920.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1696342	公开（授权）日	2005.11.16
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	周少敏;张晓宏;孟祥敏
主分类号	C23C16/46	IPC主分类号	C23C16/46;C23C16/40
专利有效期	气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置至气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于低维纳米材料和纳米技术领域，特别涉及一种用箱式电阻炉通过流变相化学反应与物理气－液－固晶体生长机制相结合的气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置。该方法是将氧化锌粉末及用于掺杂的选自锑、镉、铜及铁中任一种金属氧化物粉末混合，溶解在稀醋酸或稀硝酸溶液中制成锌盐溶液，然后与聚乙烯醇混合，加热，搅拌，陈化形成凝胶，将其移入带有盖的石英钳埚中，在箱式电阻炉中升温，加热，反应，冷却，大量的单晶掺杂氧化锌纳米管生成，掺杂量为氧化锌的0.1～5％mol，直径为20～200nm，长度达0.5～10μm。该方法工艺简单，对设备要求低，可控程度高，是单晶掺杂氧化锌纳米管制备的好方法和好装置。