专利详情

专利名称	可控型微生物刻蚀装置
申请号	CN200410037944.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1696347	公开（授权）日	2005.11.16
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	刘静;白晓丹
主分类号	C23F1/08	IPC主分类号	C23F1/08;B81C1/00;B81C5/00
专利有效期	可控型微生物刻蚀装置至可控型微生物刻蚀装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种通过对加工对象及其附着微生物的热场、电场、磁场、光场、氧及二氧化碳浓度场等加以精细控制，从而借助于微生物与加工对象之间可控的生化反应，制造出特定空间结构的可控型生物微细加工装置。本装置可通过计算机控制加热微元件、电学或光学等微元件阵列中各单元工作的时间、空间分布，得到可控的复杂温度场及多种物理、化学场，从而在容器内的微生物中实现不同的工作温度或其他物理化学场强度，进而达到调节微生物的生化反应活性，并改变其与加工对象的反应速率，以加工出特定的空间微结构。通过卡具的三维运动，可以实现对工件的多维加工。根据不同微生物种类及加工对象，由本装置所加工出的物体结构尺寸可在从毫米到纳米这样一个较宽的量级范围。该装置是一种集成化的微型可控的多功能生物微细加工系统。