专利详情

专利名称	一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法
申请号	CN201010594825.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102011090A	公开（授权）日	2011.04.13
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪爱英;陈锋光;孙丽丽
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法至一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法，该基体与TiAlN/TiAlCN多层膜涂层之间为过渡涂层，该多层膜涂层由TiAlN膜与TiAlCN膜交替层叠形成周期排列，在一个周期中，TiAlN膜与TiAlCN膜的厚度之和为1纳米～20纳米，TiAlCN膜中C原子的原子百分含量为0.1％～5％。本发明的多层膜涂层具有高硬度、低内应力以及高韧性，能够提高基体的切削效率与抗腐蚀性，延长基体的使用寿命。本发明通过高功率脉冲磁控溅射技术沉积该多层膜涂层，克服了阴极电弧离子镀沉积速率太快无法制备纳米外延膜，以及直流磁控溅射制备薄膜过程中发生靶中毒的问题，通过调节基体的自转和公转速率以及调节对靶的数量，达到控制纳米调制周期的目的。