专利详情

专利名称	具有平整谐振腔层的滤光片列阵
申请号	CN200510025460.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1677137	公开（授权）日	2005.10.05
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王少伟;陆卫;陈效双;李宁;张波;李志锋;陈平平
主分类号	G02B5/20	IPC主分类号	G02B5/20
专利有效期	具有平整谐振腔层的滤光片列阵至具有平整谐振腔层的滤光片列阵	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种具有平整谐振腔层的滤光片列阵，它是利用F－P结构滤光片的带通峰位随其谐振腔层厚度的变化而改变的特性设计的。它包括基片，在基片上依次排列下层膜系、谐振腔层膜系、上层膜系。其特征在于：谐振腔膜层是厚度不同的膜层列阵，它是通过组合镀膜来实现不同厚度谐振腔膜层在同一基片上的集成，以达到控制每个微型窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一块基片上集成的目的。这种结构的优点是避免了因刻蚀引起界面粗糙而导致的滤光片性能下降和控制精度问题，与传统镀膜方法相比，制备效率和成品率都非常高。