专利详情

专利名称	一种玻璃微流控芯片及制作方法
申请号	CN200510023895.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1648663	公开（授权）日	2005.08.03
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	金庆辉;庄贵生;刘菁;贾春平;赵建龙
主分类号	G01N33/48	IPC主分类号	G01N33/48;G01N35/00
专利有效期	一种玻璃微流控芯片及制作方法至一种玻璃微流控芯片及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法，更确切地说是一种基于SU－8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU－8做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU－8层实现先光刻显影制得微管道，再与玻璃盖片直接键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显影时间不均一，管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料，利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。