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一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用

  • 申请号:CN200510023749.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN1649230
  • 公开(公开)日:2005.08.03
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用
申请号 CN200510023749.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1649230 公开(授权)日 2005.08.03
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张永刚;李爱珍
主分类号 H02J7/00 IPC主分类号 H02J7/00;H02J9/00;H02J9/04;F27B17/00
专利有效期 一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用 至一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种束源炉断电或误操作用的保护 系统、构建方法及应用,包括在多种可能的断电或误操作状态 下对各种型号规格的束源炉及其坩埚进行有效保护的系统以 及相关部件的参数确定的规则。本发明提供的保护系统包括三 个子系统,分别是用于断电或误操作状态下对束源炉进行短时 间或缓慢降温的储能电源;对束源炉的工作状态进行自动切换 和对蓄电池进行充电控制的充电控制以及作为充电电源的 AC/DC变换器。它或用于各类分子束外延设备或适用于其他在 断电及误操作状态下需要保证有关高温部件缓慢降温的系统。 具有系统结构简单,高的可靠性及成本较低,接入方便,对原 有系统无不良影响等特点。是一种普适的系统,具有很好的通 用性。

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