专利详情

专利名称	一种嵌入式液氦低温吸附泵
申请号	CN201010107895.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101782058A	公开（授权）日	2010.07.21
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	胡纯栋;谢远来;汪明明;刘智民;刘胜;陶玲;李军;蒋才超;梁立振;盛鹏;郭强;谢亚红
主分类号	F04B37/08(2006.01)I	IPC主分类号	F04B37/08(2006.01)I;F04B37/02(2006.01)I
专利有效期	一种嵌入式液氦低温吸附泵至一种嵌入式液氦低温吸附泵	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种嵌入式液氦低温吸附泵，包括有壳体，壳体上有连接法兰，法兰和真空系统相连接，壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦，液氮杜瓦为环形套式结构，环绕在液氦杜瓦外侧，液氦杜瓦通过导管连接吸附抽气面位于真空系统内部。实际使用中，本嵌入式4.2K液氦低温吸附泵在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用，吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2，对氦也具备一定的抽速，可达到8.5L/s.cm2，工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。