专利详情

专利名称	一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟
申请号	CN201110355330.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102383190A	公开（授权）日	2012.03.21
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	孙常鸿;胡淑红;王奇伟;邓惠勇;邱锋;吕英飞;郭建华;戴宁
主分类号	C30B19/06(2006.01)I	IPC主分类号	C30B19/06(2006.01)I
专利有效期	一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟至一种可连续生长多层膜的防止母液残留的液相外延石墨舟	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可连续生长多层膜并对每层膜均可防止母液残留的液相外延石墨舟，该石墨舟主要包括：底板、滑块、外壳、可转动衬底托件、转动轴。其特点是，滑块在底板上滑动过程中可自动控制可转动衬底托件的翻转与复位，从而能够在生长下一层薄膜之前，将生长上一层薄膜时残留的母液及时排除，防止母液残留而影响下一层膜的生长，提高多层膜样品的成品率的同时增大薄膜可用面积。