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一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法

  • 申请号:CN201010565046.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
  • 公开(公开)号:CN102134491A
  • 公开(公开)日:2011.07.27
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法
申请号 CN201010565046.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102134491A 公开(授权)日 2011.07.27
申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 王平;许金通;杨晓阳;陆荣;刘福浩;李向阳
主分类号 C09K13/02(2006.01)I IPC主分类号 C09K13/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I
专利有效期 一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 至一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法,氮化镓表面腐蚀液由浓度为1±0.1摩尔/升的氢氧化钾溶液加热到35摄氏度后溶解进浓度为2±0.2摩尔/升的碳酸钾配制而成,腐蚀液的优点在于:腐蚀工艺所需的温度低、腐蚀后氮化镓表面状态好。

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