专利详情

专利名称	一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法
申请号	CN200410054083.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1629319	公开（授权）日	2005.06.22
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	赵建龙;许宝建;金庆辉;李贻昆;何志明
主分类号	C12Q1/68	IPC主分类号	C12Q1/68
专利有效期	一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法至一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种生物微喷阵列点样装置及制作方法，其特征在于点阵装置的主体结构依次由四层组成，最上面一层是用于封装的聚二甲基硅氧烷薄膜，第二层是用于固定和支撑的硬性物质，第三层是微型EAP驱动器，第四层是含微进样池、微管道、微贮液池和微喷嘴阵列的微结构层；第三层和第四层是用紫外胶封装，第二层、第三层和第四层用AB 胶封装。其制作方法是利用MEMS技术和封装技术，它不同与微印章法。利用电致伸缩聚合物代替压电聚合物，本发明具有制作的点样装置体积小，制作简单，工艺流程短而装置设计灵活、多变等特点。