电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法
- 申请号：CN201110406571.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN102393573A
- 公开(公开)日：2012.03.28
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 | ||
| 申请号 | CN201110406571.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102393573A | 公开（授权）日 | 2012.03.28 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 许兴胜;高永浩;李成果 |
| 主分类号 | G02F1/025(2006.01)I | IPC主分类号 | G02F1/025(2006.01)I;G02F1/361(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I;G02B6/138(2006.01)I |
| 专利有效期 | 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 至电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种电控可调谐光子晶体波分复用器，包括：一薄金属透明电极层；一聚合物层，位于薄金属透明电极层的下方；一顶层硅层，该顶层硅层的上面开有光子晶体孔阵列，该顶层硅层位于聚合物层的下方；一二氧化硅层，为环状结构，位于顶层硅层下面的四周，使二氧化硅层不遮挡光子晶体孔阵列；一衬底硅层，为环状结构，位于环状二氧化硅层的下面。 | ||
交易流程
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专利 -
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