半导体存储单元、器件及其制备方法
- 申请号:CN201010541159.6
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN102468303A
- 公开(公开)日:2012.05.23
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 半导体存储单元、器件及其制备方法 | ||
申请号 | CN201010541159.6 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102468303A | 公开(授权)日 | 2012.05.23 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 霍宗亮;刘明 |
主分类号 | H01L27/108(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/108(2006.01)I;H01L21/8242(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I;G11C11/401(2006.01)I |
专利有效期 | 半导体存储单元、器件及其制备方法 至半导体存储单元、器件及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种半导体存储单元、器件及其制备方法。该半导体存储单元,包括:衬底;沟道区,位于衬底上方;栅区,位于沟道区上方;源区和漏区,位于衬底上方,沟道区的两侧;埋层,位于衬底和沟道区之间,由禁带宽度比沟道区材料的禁带宽度窄的材料构成。由于埋层的禁带宽度比沟道区材料的禁带宽度要窄,从而在埋层形成空穴势垒,存储在埋层中的空穴将面临势垒很难泄露出去。通过上述方法,可以提高采用浮体效应的存储单元的信息保持时间。 |
交易流程
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专利 -
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