专利详情

专利名称	集成窄带滤光片
申请号	CN200410067892.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1614451	公开（授权）日	2005.05.11
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王少伟;陆卫;陈平平;李宁;张波;李志锋;陈效双
主分类号	G02B5/20	IPC主分类号	G02B5/20;G02F1/01
专利有效期	集成窄带滤光片至集成窄带滤光片	法律状态	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
说明书摘要	本发明公开了一种集成窄带滤光片，包括：基片，在基片上依次有相互牢固结合的下层膜系，厚度不等的谐振腔层列阵和上层膜系。本发明的集成窄带滤光片是基于F－P干涉原理，通过半导体刻蚀工艺来获取不同谐振腔层的厚度，达到控制窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同透射波长窄带滤光片在同一块基片上的集成。这种滤光片可适用于各个波段窄带滤光片列阵的制备。其优点是：工艺简单，只需设计一个膜系、通过镀膜和刻蚀即可完成集成窄带滤光片的制备，所制备的滤光片各单元的半峰宽很窄，其相对半峰宽都小于0.36％，可以起到很好的波长选择作用。