专利详情

专利名称	基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器
申请号	CN200310100168.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1607379	公开（授权）日	2005.04.20
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	王海英;蒋鹏;杨泽平;李恩德;张雨东
主分类号	G01J1/00	IPC主分类号	G01J1/00;G02B26/06;G02B3/00
专利有效期	基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器至基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器，包括能接收并发出同步脉冲信号的数据采集设备、微棱镜阵列、傅立叶透镜和光电探测器，其特点在于：所述的微棱镜哈特曼波前传感器由变周期二维锯齿形相位光栅结构的微棱镜阵列、与其紧贴着的傅立叶透镜及光电探测器组成，其中的二维锯齿形相位光栅阵列的微棱镜阵列可有单面光刻中心对称的环形布局结构和两面光刻的双面光栅结构，既可采用微光学技术，也可采用二元光学技术加工。本发明结构简单、稳定，加工工艺易实现，相对于现有的微透镜技术，能够简化哈特曼波前传感器的安装、调节，实现批量化生产。