专利详情

专利名称	微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
申请号	CN200410068145.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1603743	公开（授权）日	2005.04.06
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李昕欣;陈雪萌;宋朝辉;王跃林
主分类号	G01C19/00	IPC主分类号	G01C19/00;G01C19/56;G01P3/44
专利有效期	微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法至微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧，形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、控制陀螺的驱动幅度，实现陀螺灵敏度的温度自我补偿。其制备工艺是将体硅工艺和表面硅工艺相结合，用深反应离子刻蚀工艺完成主梁、微梁、扭转梁和质量块制作，最后将陀螺和盖板对准粘在一起完成制作。本发明提供的陀螺利用扩散在扭转梁上的四端器件实现压阻系数温度自我补偿，扦测时微梁没有弯曲，只有Z方向直拉直压。