专利详情

专利名称	PVDF有机聚合物薄膜电容器
申请号	CN201010101879.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101752087A	公开（授权）日	2010.06.23
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	李超;孙璟兰;孟祥建;王建禄;田莉;乔辉;张燕;李向阳
主分类号	H01G4/33(2006.01)I	IPC主分类号	H01G4/33(2006.01)I;H01G4/14(2006.01)I;H01G4/005(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I
专利有效期	PVDF有机聚合物薄膜电容器至PVDF有机聚合物薄膜电容器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种PVDF有机聚合物薄膜电容器，其特征在于，器件结构包括：一衬底；一金属底电极，该金属底电极生长在衬底上；一介电绝缘层，该介电绝缘层为孔型，将部分金属底电极包裹起来；一有机聚合物薄膜，该有机聚合物薄膜生长在介电绝缘层开孔处，面积略大于开孔面积；一金属上电极，该金属上电极生长在有机聚合物薄膜上；一包裹电极，该包裹电极生长在金属上电极上，将有机聚合物薄膜与金属上电极包裹起来。本发明的器件结构利用介电层隔离上下电极，并利用上电极作为PVDF薄膜光刻掩膜，最终利用包裹电极将PVDF有机聚合物薄膜侧面保护起来，方便后续传统工艺的实施，使其可与其他器件集成制备，不受传统工艺的限制。