专利详情

专利名称	基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法
申请号	CN201110110119.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102221327A	公开（授权）日	2011.10.19
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	郜鹏;姚保利;雷铭;严绍辉;但旦;叶彤
主分类号	G01B9/023(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/023(2006.01)I;G02B21/36(2006.01)I;G02B21/00(2006.01)I;G02B21/14(2006.01)I
专利有效期	基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法至基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法，包括沿光的入射方向依次设置的照明单元、显微放大单元以及相衬成像单元；照明单元包括依次沿光路方向设置的扩束系统、多光束照明产生单元、缩束准直单元；扩束系统包括沿光路方向依次设置的激光器、光强控制器和扩束单元；多光束照明产生单元包括沿光路依次设置的锥镜、第一透镜、旋转散射体、第二透镜以及振幅掩模板；被测样品放置在第一物镜和第二物镜之间的焦面上，被测样品和CCD相机满足物像关系。本发明解决了传统泽尼克相衬成像的光晕效应，同时实现了对相位物体的定量测量，光路具有相干噪声小，抗振动性好，横向分辨率高等优点。