专利详情

专利名称	用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法
申请号	CN200810189022.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101748370A	公开（授权）日	2010.06.23
申请（专利权）人	中国科学院兰州化学物理研究所	发明（设计）人	王立平;胡丽天;丁奇;张广安;薛群基
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法至用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于水润滑的织构化类金刚石复合薄膜的制备方法。本发明采用激光表面微造型技术，能够在工件表面获得微织构形貌造型，然后通过磁控溅射沉积技术对工件进行等离子体清洗后，通过镀制钛过渡层，掺杂钛的类金刚石薄膜，能够在工件表面获得薄膜。薄膜大大提高了常规类金刚石薄膜在水润滑条件下的稳定性和减摩抗磨性能，摩擦系数降低高达40％，耐磨性提高1～3倍。适用用水环境下的机械密封环、推力轴承以及其他机械传动摩擦副的表面防护与强化，延长使用寿命。