专利详情

专利名称	一种自支撑多铁性复合薄膜的制备方法
申请号	CN201110086403.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102227013A	公开（授权）日	2011.10.26
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	李润伟;左正笏;陈斌;刘宜伟;朱小健;杨华礼
主分类号	H01L43/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01L43/12(2006.01)I;H01L43/10(2006.01)I
专利有效期	一种自支撑多铁性复合薄膜的制备方法至一种自支撑多铁性复合薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种自支撑多铁性复合薄膜的制备方法，改方法采用由硅片层、中间层和厚度为纳米级的铂薄膜层组成的镀铂硅片；将镀铂硅片放入氢氟酸溶液，使镀铂硅片的中间层与氢氟酸反应被刻蚀，铂薄膜从硅片上脱离而漂浮在溶液表面；然后将铂薄膜转移到盛有去离子水的器皿中清洗；之后将铂薄膜平铺到由耐高温材料制成的基片上并干燥；最后在铂薄膜上依次沉积铁电层薄膜和铁磁层薄膜。与现有技术相比，本发明的制备方法成本低、制备条件温和，且工艺简单可控，得到的自支撑多铁性复合薄膜由于没有衬底束缚力的影响，对外界刺激的感应更加灵敏，能够提高多铁性复合薄膜的磁电耦合系数。