专利详情

专利名称	用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法
申请号	CN200910235465.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102043178A	公开（授权）日	2011.05.04
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法至用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。本发明提供的复合型光子筛，相对于菲涅尔波带片，可以提高数值孔径，提高成像分辨率，能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，能够提高成像对比度，并且有效减小GDSII版图文件的数据量，降低大口径成像光子筛的加工难度。