专利详情

专利名称	一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法
申请号	CN201110116568.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102220562A	公开（授权）日	2011.10.19
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	冯泉妤;黄金华;张宇龙;杨晔;宋伟杰
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法至一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10-3～1×10-4Pa，溅射气体的压力为0.2～1.5Pa，衬底温度为150～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。该方法工艺简单，生产成本低，适于大规模工业化生产；制备的薄膜厚度为300～1200nm，绒度在3％～10％，方块电阻在5～50Ω/□，粗糙度在10～50nm，具有较高的绒度，较高的表面粗糙度和优良的电光学性能，适合于薄膜太阳电池的制备，可以提高太阳电池的光电转换效率。