专利详情

专利名称	VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法
申请号	CN201010148650.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102219180A	公开（授权）日	2011.10.19
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	张晓宏;王辉;王建涛;欧雪梅
主分类号	B82B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B3/00(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I
专利有效期	VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法至VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种制备一维无机纳米锥状结构材料的方法。该方法包括如下步骤：1)将前驱物和金属催化剂混合后置于容器中，并将其放入真空管式炉的高温区，将衬底置于低温区，使炉腔内呈无氧状态，然后通入非氧化性保护气体使所述炉腔内的压强不高于1x104Pa，密封真空管式炉；所述高温区的温度为1300-1400℃，所述低温区的温度为1100-800℃；2)开启加热装置，以10-20℃/分钟的升温速率，将真空管式炉的高温区加热至1300-1400℃并维持30-300分钟，停止加热，冷却至室温，然后向炉腔内通入非氧化性气体至一个大气压，打开炉腔，在衬底上得到了一维无机纳米锥状结构材料。本发明的方法简单，设备廉价；该方法通过控制VLS过程中催化剂金属液滴合成了直径可变的一维硅基纳米结构，适用于多种无机材料的锥状结构生长。