等离子体放电与雾化接枝装置
- 申请号：CN200920246628.4
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN201518309U
- 公开(公开)日：2010.06.30
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 等离子体放电与雾化接枝装置 | ||
| 申请号 | CN200920246628.4 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN201518309U | 公开（授权）日 | 2010.06.30 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 赵玲利;杨景华;张超前;王守国 |
| 主分类号 | H01J37/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/02(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I;B29C59/14(2006.01)I |
| 专利有效期 | 等离子体放电与雾化接枝装置 至等离子体放电与雾化接枝装置 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种等离子体放电与雾化接枝装置，该装置包括：一组雾化喷头，该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上；和两个高压电极，位于雾化喷头的两侧，该两个高压电极与电源的一端连接，外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩，内侧设有一个金属圆滚轴地电极。利用本实用新型，在大气压下产生空气辉光放电的区间之间加入一个雾化装置，集成和等离子体放电和表面雾化接枝技术。另外，表面接枝后时效性好，可以用于对薄膜材料的表面接枝与改性处理。 | ||
交易流程
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专利 -
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